三坐标测量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机系统几部分组成。使用三坐标测量机测量工件时，要注意使用方法和保养的及时性，以延长使用寿命。从原理上讲，目前市面上绝大多数测量机都是采用气浮轴承，这种轴承的优势在于，它可以使运动轴在运动实现无磨擦，其原理是将压缩空气从气浮块的小孔中喷出，在气浮块和导轨之间形成一定厚度的气膜，这个气膜使测量机的各轴运动时无摩擦，从而保证测量机正常的运动状态和测量精度。从以上可以看出，气浮块的正常浮起状态对于测量机的正常工作至关重要。
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1、压力对测量机的影响
在正常工作压力的前提下，气浮块的浮起间隙约6~10μm，空气压力的波动会使气浮块的气浮间隙发生变化，影响测量重复性。气压严重不足时，会使气浮块不能充分浮起造成与导轨摩擦，轻者影响测量机运动状态和测量精度，重者会磨损导轨和气浮块,严重损坏测量机。如采用气动平衡的测量机在气压严重不足的情况下，会造成Z 轴失衡下落的情况，导致仪器损坏。所以要努力保证测量机工作压力的稳定。我们在使用三坐标测量计等类似设备时，需注意以下事宜：
① 选择合适的空压机，配备专门储气罐，使空压机寿命更长，压力更稳定。
② 空压机的启动压力一定要大于工作压力。
③ 开机时，要先打开空压机，然后才能接通电源。
2、油和水对三坐标测量机的影响
由于空压机对空气压缩的同时会把空气中的水分子和油分子压缩成水和油，进入压缩空气的水和油会随着压缩空气进入到平衡气缸和气浮块。在测量机工作时，水和油附着在导轨上，使导轨的直线度改变。当测量机不工作时，管道中的油滴可能堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起。管道中的水还会腐蚀气浮块和平衡气缸。为此必须采取前置过滤的方法，尽量争取在水和油进入测量机之前过滤掉。
3、对气路的维护和保养
由于压缩空气对三坐标测量机的正常工作起着非常重要的作用，所以对气路的维修和保养也非常重要。其中特别需要注意以下方面：
①、使用测量机前，应仔细检查管道和过滤器，及时清理过滤器及空压机、储气罐的水和油。
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②、每隔3个月需要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。如使用环境空气质量较差，相应的清理周期要缩短。这样操作的原因是：过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会导致测量机实际工作气压降低，影响测量机工作精度和性能。所以要定期清洗过滤器滤芯气路维护保养的关键点。
③、每天都要擦拭导轨油污和灰尘，保持气浮导轨的正常工作状态。
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4、对三坐标测量机导轨的保护
三坐标测量机的导轨是保证机器性能的基准，只有保养好气浮块和导轨才能保证测量机的正常工作。三坐标测量机导轨的保养除了要经常用酒精和脱脂棉擦拭外，还须注意，不能直接在导轨上放置零件和工具。尤其是花岗石导轨，因其质地比较脆，任何小的磕碰会造成碰伤，如果未及时发现，碎渣就会伤害气浮块和导轨。要养成良好的工作习惯，最稳妥的做法是：用布或胶皮垫在导轨下面，保证导轨安全。另外，在工作结束后要擦拭导轨，这样可以延长导轨使用年限。
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